支援実績
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
日本放送協会
F-13-RO-0028:
空間光変調器用ドライバ回路配線工程
2013年度［平成25年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
(株)日本触媒
F-13-RO-0029:
ＢＣＮ膜のエッチング評価
2013年度［平成25年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
大阪大学
F-13-RO-0030:
NiGe層中へのリン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調機構の解明
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-13-RO-0031:
DNAをチャネルとするSi半導体MOSFET（Siアイランド形成）
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-13-RO-0032:
DNAをチャネルとするSi半導体MOSFETの作製（薄膜形成）
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-13-RO-0033:
DNAをチャネルとするSi半導体MOSFETの作製（Siのドライエッチング）
2013年度［平成25年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
名古屋大学
F-13-RO-0034:
自己組織化形成Ｓｉ系量子ドットの選択成長
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0035:
高移動度グラフェン素子の作製と量子輸送現象の研究
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0036:
原子層膜の表面電気伝導の研究
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0037:
BNの表面凹凸がグラフェン素子の移動度に及ぼす影響の研究
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0038:
BN多層グラフェン素子の作製と電子構造の研究
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0039:
BN上の多細孔グラフェン素子の量子伝導の研究
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
島根大学
F-13-RO-0040:
微細構造シリコンにおける増強ラマン散乱効果の研究
2013年度［平成25年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0041:
微細な空間へのポリイミド薄膜作製における蒸着時間の影響
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0042:
低温成長GaAs系半導体薄膜の結晶構造評価
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0043:
RBS/PIXEを用いた低温成長GaAs系半導体薄膜の結晶構造解析
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0045:
光デバイス用スポットサイズコンバータの研究
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0046:
金属ナノパターンにおけるプラズモン共鳴のデバイス応用
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0047:
SiCパワーデバイスのための不純物活性化の研究
2013年度［平成25年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
群馬大学
F-13-RO-0048:
LPCVDを用いた多層トンネル接合型PIN太陽電池基板の特性解析
2013年度［平成25年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
広島大学
F-13-RO-0049:
光八木宇田アンテナによる量子ドット発光の指向性制御
2013年度［平成25年度］ (D) 技術相談
支援依頼機関：
広島工業大学
F-13-RO-0050:
SiC基板へのイオン注入、熱処理、および注入された基板の注入分布および電気的特性評価
2013年度［平成25年度］ (D) 技術相談
支援依頼機関：
広島工業大学
F-13-RO-0051:
集積回路の検査に用いられるイリジウムメッキしたタングステンプローブの特性評価
2013年度［平成25年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
名古屋大学
F-13-RO-0052:
GaN基板表面の組成評価
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
産業技術総合研究所
F-12-RO-0001:
ナノ空間による生体高分子１分子の疑似２次元解析
2012年度［平成24年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
(株)日立製作所
F-12-RO-0002:
単結晶シリコンの強度を評価するデバイスの試作
2012年度［平成24年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
(株)日立製作所
F-12-RO-0003:
単結晶シリコンの疲労を評価するデバイスの試作
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0004:
光デバイス用スポットサイズコンバータの研究
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0005:
磁気光学材料を用いた光スイッチの研究
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0006:
巨大線状Siグレインを用いた高性能薄膜トランジスタの研究
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0007:
「公開猶予中」
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
群馬大学
F-12-RO-0008:
LPCVDを用いた多層トンネル接合型PIN太陽電池基板の試作
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
群馬大学
F-12-RO-0009:
LPCVD法による一貫薄膜Si/SiO2多層膜形成法の検討
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
群馬大学
F-12-RO-0010:
LPCVD法による試作多層膜のTEM評価
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
北海道大学
F-12-RO-0011:
表面プラズモン共鳴を用いたノロウイルスセンサの開発
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0012:
マイクロパターン化PDMSスタンプの作製
2012年度［平成24年度］ (D) 技術相談
支援依頼機関：
広島工業大学
F-12-RO-0013:
デバイスシミュレータ（TCADツール）を用いたSi MOSFETのシミュレーション環境の構築
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0014:
高速視覚を用いたマイクロデバイスの実時間流速計測システム
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
大阪大学
F-12-RO-0015:
リン添加Niのジャーマナイド化で形成したNiGe/Ge界面ショットキー障壁評価
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
大阪大学
F-12-RO-0016:
NiGe層中へのリンイオン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
大阪大学
F-12-RO-0017:
Ni/Ge界面へのリンイオン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
大阪大学
F-12-RO-0018:
Ge基板への極浅リン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0019:
マイクロピラーを持つマイクロ流路における実時間非定常流れ計測
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島工業大学
F-12-RO-0020:
デバイスシミュレータTCADツールを用いたSi MOSFETとSiC MOSFETのシミュレーションと最適化
2012年度［平成24年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-12-RO-0021:
Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（リソグラフィ）
2012年度［平成24年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-12-RO-0022:
Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（薄膜形成）
2012年度［平成24年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-12-RO-0023:
Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（要素）
2012年度［平成24年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0024:
超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発（XPS）
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0025:
超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発(Alスパッター)
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0026:
前方散乱分析法による硬質CrMo合金めっき皮膜中の水素の分析
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
琉球大学
F-12-RO-0027:
RFスパッタ法を用いた高品質ゲート絶縁膜の形成と評価
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
名古屋大学
F-12-RO-0028:
リモート水素プラズマ支援によるFeおよびFeシリサイドナノ構造の高密度形成
2012年度［平成24年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
岡山大学
F-12-RO-0029:
ソフトリソグラフィーを用いた平面パッチクランプ用電極の量産化
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0030:
窒化物薄膜の構造と物性
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0031:
マイクロ流路内の流速変化に伴う粒子の形状特性の実時間計測
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島工業大学
F-12-RO-0032:
光入射位置および入射角度検出可能なセンサデバイスの作製
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0033:
PIXE法（イオン加速器）を用いる軽元素の定性･定量分析
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
島根大学
F-12-RO-0034:
微細構造シリコンにおける増強ラマン散乱効果の研究
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
京都工芸繊維大学
F-12-RO-0035:
金属ナノ粒子を利用した環境反応材料の開発
2012年度［平成24年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-12-RO-0036:
マイクロ流路内の流速分布及び粒子特性の実時間計測