支援実績
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-16-RO-0029:
SiC-MOSFETの作製
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-16-RO-0030:
ワイドバンギャップ半導体基板への高温イオン注入と短時間高温活性化アニールの研究
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
(株)日本製鋼所
F-16-RO-0031:
PECVD装置によるSiO膜のドライエッチング処理方法の検討
2016年度［平成28年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
(株)フィルネックス
F-16-RO-0032:
窒化物薄膜LEDの開発
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
(株)日本製鋼所
F-16-RO-0033:
CDE装置によるSiO膜のドライエッチング処理方法の検討
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-16-RO-0034:
低温成長InxGa1-xAs のショットキー接合の形成とその容量電圧特性の評価
2016年度［平成28年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
兵庫県立大学
F-16-RO-0035:
超微細DNA メモリートランジスタの研究
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-16-RO-0036:
リング共振器バイオセンサのための流路形成
2016年度［平成28年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-16-RO-0037:
学習機能をもつ光ニューラルネットワークの基礎研究
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0001:
超臨界二酸化炭素雰囲気下における微細空間中のポリイミド蒸着機構の解明
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
(株)日立ハイテクノロジーズ
F-15-RO-0002:
次世代デバイス向け先端露光プロセの検討
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
奈良先端科学技術大学院大学
F-15-RO-0003:
一方向成長を促進した非晶質シリコンのレーザーアニール結晶化
2015年度［平成27年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
(株)ジェイ・エム・エス
F-15-RO-0004:
微細流路を用いた抵抗測定
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0005:
量子ドット固定領域制御技術のための微細加工パターン作成
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0006:
ラザフォード後方散乱法を用いた InP 基板上低温成長 In xGa 1-xAs 内の結晶欠陥評価
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0007:
InP 基板上低温成長InxGa1-xAs の成長とX 線回折法を用いたその結晶性の評価
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
東北学院大学
F-15-RO-0008:
微細結晶粒を有する低温poly-Si トンネルTFT のデバイス形成に関する研究
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
東北学院大学
F-15-RO-0009:
自己整合4 端子メタルダブルゲートCLC 低温poly-Si TFT の制御性に関する研究
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
奈良先端科学技術大学院大学
F-15-RO-0010:
高性能薄膜トランジスタの実現に向けた非晶質シリコンのレーザーアニール結晶化
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
東北学院大学
F-15-RO-0011:
金属誘起固相成長とhigh-k 膜を利用した自己整合4 端子低温poly-Si TFT の開発に関する研究
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0012:
高圧蒸着法における成膜特性とトレンチサイズの関係
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
(株)日立ハイテクノロジーズ
F-15-RO-0013:
次世代デバイス向け極微細パターニングの検討
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
埼玉大学
F-15-RO-0015:
多量子ビーム検出用超伝導トンネル接合素子
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
京都大学
F-15-RO-0016:
ミストCVD 法によるCu2ZnSnS4 薄膜のRBS を用いた組成評価に関する検討
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
筑波大学
F-15-RO-0018:
方向性結合器型干渉素子を用いたバイオセンシングデバイスの構築
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0019:
：InP基板上アモルファス InxGa1-xAs の熱処理による結晶化とX線回折法を用いたその結晶性評価
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
京都大学
F-15-RO-0021:
標準シリコン酸化膜の膜厚測定
2015年度［平成27年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
京都工芸繊維大学
F-15-RO-0023:
高感度プラズモニックセンサーの開発を目指したナノ粒子表面修飾
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0024:
バイオセンシング用分子認識タンパク質の簡便な性能評価のためのSi 酸化膜基板の作製
2015年度［平成27年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
大阪大学
F-15-RO-0025:
電子ビーム露光を用いた室温動作 Si 単電子トランジスタ＆薄膜の設計・ 製作・評価
2015年度［平成27年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
北海道大学
F-15-RO-0026:
電子ビーム露光を用いた室温動作 Si 単電子トランジスタ＆薄膜の設計・ 製作・評価
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0027:
局在プラズモン共鳴を利用した光伝導型テラヘルツ波検出素子の高効率化
2015年度［平成27年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0028:
アルカリ土類金属によるSiC-MOSFETs の界面制御
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
筑波大学
F-15-RO-0029:
窒化シリコン方向性結合器バイオセンサによるアプタマー分析
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
東北学院大学
F-15-RO-0030:
塗布技術を用いて形成したhigh-k ゲート絶縁膜の評価
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0031:
ホール効果測定を用いたInP 基板上低温成長InxGa1-xAs の欠陥準位の評価
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
山口大学
F-15-RO-0032:
表面粗さによる微小管速度制御技術の開発
2015年度［平成27年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
(株)フィルネックス
F-15-RO-0033:
窒化物半導体層のエッチング加工
2015年度［平成27年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
(株)フィルネックス
F-15-RO-0034:
リフトオフによるメタルパーン形成
2015年度［平成27年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
(株)フィルネックス
F-15-RO-0035:
塗布膜のパターン加工
2015年度［平成27年度］ (E) 技術補助
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0036:
生体反射板ガイダンス溝の作成
2015年度［平成27年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0037:
超臨界蒸着法によるフッ素－カプトン系ポリイミドの成膜特性とトレンチサイズの関係
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0038:
Ge 中にイオン注入したAs の高効率活性化と化学状態分析
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0039:
電圧印加 XPSを用いた熱酸化SiO2/Si構造の内部電位評価
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0040:
狭間隔スロット光導波路のレジストパターン形成
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0041:
リッジ型光導波路実現のためのドライエッチング条件の探索
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0042:
スポットサイズ変換器用中間クラッド層の形成
2015年度［平成27年度］ (D) 技術相談
支援依頼機関：
東京エレクトロン株式会社
F-15-RO-0043:
シリコンチッ化膜のプラズマ中表面計測についての相談
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0044:
炭化ケイ素基板への高温リンイオン注入と短時間高温活性化アニールの研究
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0045:
Si/SiCヘテロ接合によるオーミックコンタトの形成
2015年度［平成27年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-15-RO-0047:
メニスカス力を用いたSOI 膜の転写における転写率向上の研究
2014年度［平成26年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
旭化成メディカル株式会社
F-14-RO-0001:
ウイルス濾過膜の濾過機構可視化のための微細流路
2014年度［平成26年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
旭化成メディカル株式会社
F-14-RO-0002:
ウイルス濾過膜の濾過機構可視化のための試験デバイス開発
2014年度［平成26年度］ (D) 技術相談
支援依頼機関：
ＭＫイノベーションズ
F-14-RO-0003:
新太陽電池及びその製造方法
2014年度［平成26年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
高知工科大学
F-14-RO-0004:
酸化物半導体/絶縁膜界面制御に関する研究
2014年度［平成26年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
広島大学
F-14-RO-0005:
ラザフォード後方散乱法を用いた低温成長InxGa1-xAs の結晶構造の作製及び解析
2014年度［平成26年度］ (C) 技術代行
支援依頼機関：
東北学院大学
F-14-RO-0006:
自己整合メタルダブルゲート低温poly-Si トンネルTFT の開発
2014年度［平成26年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
広島大学
F-14-RO-0007:
マイクロ流量制御に向けたシリンジポンプの作製及び特性解析
2014年度［平成26年度］ (A) 共同研究
支援依頼機関：
京都工芸繊維大学
F-14-RO-0008:
金属ナノ粒子を利用した環境反応材料の開発
2014年度［平成26年度］ (B) 機器利用
支援依頼機関：
広島大学
F-14-RO-0009:
積層構造に依存したグラフェンの電子構造の研究