機器一覧
その他
RO-601
ダイサー
DISCO（DAD322）
機能及び仕様
Si, SiO2, SiCウェハ等のダイシング
対応ウェハ
6 インチ以下
機器利用料（円/時間）
3,300
設置場所
西棟1F
RO-602
PDMS加工装置
魁･THINKEYほか
機能及び仕様
ポリジメチルシロキサン(PDMS)加工装置 スピンコーター、自・公転方式ミキサー、真空脱泡装置、オーブン、卓上真空プラズマ装置 等
機器利用料（円/時間）
3,300
設置場所
東棟4F
RO-603
3Dプリンタ
XYZ(ダヴィンチCOLOR)
機能及び仕様
熱溶解積層（Fused Filament Fabrication：FFF）方式
機器利用料（円/時間）
4,400
設置場所
東棟2F