機器一覧
エッチング
RO-411
エッチング装置（RIE SiO2用）
CR
神戸製鋼
機能及び仕様
SiO2エッチング用，CF4, H2使用可能，
対応ウェハ
2 インチ、（カットウェハは2 インチに貼り付けで対応可）
機器利用料（円/時間）
2,860
設置場所
CR西棟1F
RO-412
汎用プラズマ処理装置（プラズマ暴露用）
CR
神戸製鋼
機能及び仕様
プラズマ暴露試験用，SF6使用可能，
対応ウェハ
2 インチ、（カットウェハは2 インチに貼り付けで対応可）
機器利用料（円/時間）
2,200
設置場所
CR西棟1F
RO-413
エッチング装置（Si深掘用）
CR
住友精密工業(MUC-21)
機能及び仕様
ボッシュプロセスを用いたシリコン深掘りエッチング装置， C4F8, SF6, O2, Ar使用可能
対応ウェハ
4 インチ以下
機器利用料（円/時間）
8,800
設置場所
CR東棟1F
RO-414
エッチング装置（ICP Al用）
CR
YOUTEC(12-228PH)
機能及び仕様
Alエッチング用, Cl2, BCl3, N2使用可能
対応ウェハ
2 インチ、（カットウェハは2 インチに貼り付けで対応可）
機器利用料（円/時間）
2,860
設置場所
CR西棟1F
RO-415
エッチング装置（CDE SiN用）
CR
神戸製鋼
機能及び仕様
ラジカルによる等方性ドライエッチング装置。ポリシリコン，窒化シリコンエッチング用，CF4, O2, N2使用可能
対応ウェハ
2,3 インチ、カットウェハ
機器利用料（円/時間）
2,860
設置場所
CR西棟1F
RO-416
エッチング装置（レジスト Ashing用）
CR
神戸製鋼
機能及び仕様
レジストアッシング用，O2, N2使用可能 レジストアッシング用
対応ウェハ
2 インチ、カットウェハ
機器利用料（円/時間）
2,860
設置場所
CR西棟1F
RO-417
エッチング装置（ICP poly-Si ゲート用）
CR
YOUTEC(12-228PH)
機能及び仕様
Siエッチング用, Cl2, O2, N2, HBr使用可能
対応ウェハ
2 インチ、（カットウェハは2 インチに貼り付けで対応可）
機器利用料（円/時間）
2,860
設置場所
CR東棟1F
RO-418
エッチング装置（汎用）
CR
エイコー(VX-20S)
機能及び仕様
各種材料エッチング用，CF4, O2, N2使用可能
対応ウェハ
2 インチ、カットウェハ
機器利用料（円/時間）
5,500
設置場所
CR東棟1F