機器ID

RO-111

メーカー名

エリオニクス

型番

ELS-G1001

機能及び仕様

ポイントビーム方式，加速電圧25,50,75,100kV，最小線幅6nm，

対応ウェハ

2-6 インチ、カットウェハ

機器利用料(円/時間)

12650

設置場所

CR東棟1F